ガラスの破片を防ぎ、バイオセンサーの性能を維持しましょう。 正直に言って、1つのランプが壊れるだけで、大量のウェーハが無駄になってしまうのは最悪のことです。 高負荷状態で石英管が破損すると、単なる停止問題だけではありません。ガラスの破片や金属片が基板に飛び散り、一日が台無しになってしまいます。私た...

なぜクォーツガラス製のシールドがIRヒーターにとって重要なのか 半導体製造現場では、微小な単位での精度が求められます。つまり、マイクロメートルやミリ秒といった極めて微細な単位です。ここは非常にストレスの多い環境です。多くの人々はIRヒーター自体に注目しますが、実際にはヒーターは全体のうちの半分に過...

なぜ、深部加工においては熱風を使わずに赤外線を利用するのか？ 対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その後でその空気が食品を加熱します。ここには時間的な遅れがあります。半導体加工の世界では、この遅れは致命的です。それは無駄な時間であり、許されるものではありません。 だからこ...

熱を適切な場所に導く：IRシステム用のアルミニウム反射板 半導体製造工場では、熱というのは厄介な問題です。単に部品を温めるだけでは不十分で、エネルギーを無駄にしないように正確に制御する必要があります。そこで役立つのがアルミニウム反射板です。これらは、赤外線を鏡のように反射させ、そのエネルギーをウェ...

熱の無駄遣いを止めよう：金メッキ反射板の利点 シリコンウェーハを加熱する際、無駄になる1ワット毎が、実質的にはお金の無駄になります。さらに、不必要な汚染リスクも生じます。一般的な反射板では、エネルギーがあちこちに散乱してしまいます。しかし私たちは異なる方法を採用しています。金メッキ反射板を使用する...

不安定な性質を持つ化学物質を扱う際には、金メッキされた赤外線ランプが必要です。半導体の化学洗浄作業を行っている人なら、その厳しい環境をよく知っているでしょう。周囲には可燃性の溶剤や爆発性の気体があります。そうした環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具というだけでなく、危険因子にもなり得ます。 だ...

治療用ランプによる装置全体の過熱を防ぎましょう もしIRエネルギーが装置の筐体内部に漏れ込んでいるなら、それは設計上の問題です。これはごく当然のことです。 高出力のIRランプを使用すると、その放射エネルギーはウェーハ上に留まるだけではありません。エネルギーは周囲に広がっていきます。その熱がどこに行...

バイオセンサーの製造における「ガラスの雨」を防ぐ方法 正直言って、バイオセンサーの製造では、たった一回の故障で一週間分の作業が台無しになってしまうこともあります。 例えば、高負荷状態で赤外線ランプが壊れてしまったら、単に停止するだけでは済みません。作業場全体が石英の破片やハロゲンガスで覆われてしま...

高負荷下でのウェーハ硬化処理におけるクォーツ管の破損防止 高負荷の製造環境では、ランプが故障すると大変な事態になります。単に生産停止にとどまらず、硬化処理中にクォーツ管が破裂すると、破片や化学物質があちこちに飛び散ります。そうなるとウェーハが汚染され、大量の清掃作業が必要になります。私たちは、この...

掃除用化学薬品が爆発しそうな状況でも、物を安全に保つ方法 もし、可燃性や爆発性のある洗剤の近くで赤外線ヒーターを使用する場合、通常のオープンエレメント式のランプはまさに時限爆弾のようなものです。これは大きなリスクです。そのため、私たちは炭素繊維製のランプを開発しました。このランプは、発火を防ぎ、腐...

なぜクリーンルームでIRランプを使用するのか？ クリーンルーム内での乾燥や硬化処理において、従来の対流式オーブンでは不十分です。特に、今では「無鉛」や「環境に優しい」という基準が求められているためです。単に化学物質を変えるだけではなく、実際に熱を部品にどう伝えるかが重要です。 IRとホットエアの違...

ストップランプの破損がウェーハを台無しにするのを防ぐ 半導体の洗浄工程において、ランプが破損するというのは、単なる面倒事や生産停止にとどまらない。それは本当に悪夢のような状況だ。 重負荷によって石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぐ。そうなると、一括でウェ...

なぜエンジニアがこの加熱装置を選ぶのか？ スマートファブを構築する際、加熱システムもPLCの論理と同じくらい優れていなければなりません。そのため、私たちは実際の自動化生産現場で使えるように、金コーティングが施されたツインチューブ式のランプを開発しました。これはデジタル制御システムに容易に組み込むこ...

なぜ、適切な赤外線ランプがあなたの組立工場にとって強力な武器になり得るのか 私たちは鋳造所向けのRTP赤外線ランプを製造していますが、正直、妥協の余地はありません。実際の生産現場では、加熱素子は非常に頑丈でなければなりません。繰り返し使用されても性能を失わず、かつコストも抑えられる必要があります。...

リソグラフィーの工程において、バーク処理は一時停止のためのステップではなく、むしろ制御のための手段です。もしソフトバークやハードバークが均一でなければ、ウェーハの厚みのばらつきや定在波、歩留まりの低下といった問題が生じます。私たちは、そのような変動をなくすために、専用のフォトレジストバーク用ランプ...

リソグラフィーラインでは、フォトレジストのベイク処理中に2℃もの温度変動があるだけで、多大な損失を被ることになります。そこで、ウェハ全体で±0.1℃の範囲内に温度を維持できるように、赤外線ランプ用のクリップを改良しました。この業界においては、歩留まりはこうした温度差によって決まります。 重要なポイ...

ウェーハ処理の際には、フォトレジストの焼成プロファイルは任意のものではありません。それは、良品を作り出すか、不良品を作り出すかの分かれ目なのです。ソフトベイクやハードベイクの温度が2℃変動するだけで、重要な寸法が変わり、スカミング現象が発生します。私たちは、ウェーハ処理装置が最も熱安定性を必要とす...

リソグラフィーフロアにおいて、ソフトベークとハードベークは単なる工程ではなく、熱的なハンドシェイクです。0.5度のドリフトはCDバイアスをシフトさせ、ホットスポットはウエハーを直進させる欠陥を印刷し、歩留まりの損失を引き起こします。私たちは、プロセスが必要とする場所で熱予算を維持するために、フォト...

ファブフロアにおけるフォトレジストベークプロファイルは、ランプアレイの安定性に集約される。ソフトベークの温度が0.5°Cでもずれると、CD制御に影響が出る。ハードベークで1.0°Cの変動があると、スカミングや残渣が発生する。そこで、ランプ用にSCRパワーレギュレータを開発し、シフトをまたいで安定し...

ライン上では、時計の針は熱ドリフトが安定するのを待たない。 ウェハはクリーンリンスから出てきて、まだエッジに水滴が付着している。フォトレジストは、範囲ではなく1度以内の精度でソフトベークを必要としている。後工程では、エンキャプサントやアンダーフィルは、シフトごとに安定したキュアプロファイルを保持し...