ガラスの破片を防ぎ、バイオセンサーの性能を維持しましょう。
正直に言って、1つのランプが壊れるだけで、大量のウェーハが無駄になってしまうのは最悪のことです。
高負荷状態で石英管が破損すると、単なる停止問題だけではありません。ガラスの破片や金属片が基板に飛び散り、一日が台無しになってしまいます。私たちは、そのような事態を防ぐために特別に設計された赤外線ランプを開発しました。
なぜこれらの管が壊れるのでしょうか？
通常、熱衝撃や局所的な過熱が原因です。これに対処するために、高純度の融解石英を使用しています。この素材は熱膨張率が非常に低く、つまりしっかりとした耐久性を持っているのです。電力を急速に切り替えても、ガラスが割れることはありません。
また、管の壁厚にもこだわりました。壁厚が薄すぎると管が破損し、逆に厚すぎると熱が逃げてしまいます。適切な壁厚を見つけ出すことで、十分な強度を持ちつつ、赤外線エネルギーを通過させることができます。
不要なものを防ぐ
単に最善を願うだけでなく、安全対策も施しています。私たちのランプには、フィラメントが酸化するのを防ぐための強化されたエンドキャップやシールがあります。たとえ管が壊れても、内部の部品が飛び散るのを防ぎます。
もっと安心したい場合は、犠牲的な石英シールドを使用しましょう。
確かに、少し熱が失われますが、その代わりに、熱源とセンサーの間に物理的な障壁ができます。ウェーハが破片に触れないようにするためには、これは小さな代償です。
設置時のヒント
これらのランプは大量の熱を発生させるため、適切に扱う必要があります。
まず、PIDコントローラーをしっかりチェックしましょう。急激な電圧の変動はフィラメントに負担を与え、ランプの寿命を縮めてしまいます。
また、空気の流れにも注意しましょう。冷却ファンがうまく機能せず、ハウジングが過度に熱くなると、ランプは本来よりも早く壊れてしまいます。そして何よりも、安定した電源を使用しましょう。電源の不安定さは、均一な硬化を妨げ、管に不必要な負担を与えます。