なぜクリーンルームでIRランプを使用するのか？ クリーンルーム内での乾燥や硬化処理において、従来の対流式オーブンでは不十分です。特に、今では「無鉛」や「環境に優しい」という基準が求められているためです。単に化学物質を変えるだけではなく、実際に熱を部品にどう伝えるかが重要です。
IRとホットエアの違い
一般的なオーブンを考えてみましょう。ウェーハが何の影響も受ける前に、まず大きな空気の箱や金属製の壁が加熱されます。これは時間とエネルギーの無駄です。 一方、IRランプは異なります。放射熱を利用するため、エネルギーが直接基材に届きます。空気を介さないので、大型の送風機や厚手の断熱材は不要で、電力消費も大幅に削減できます。
無鉛材料の扱い
無鉛のはんだや接着剤は、高い温度と正確な温度管理が必要です。 温度が高すぎると、基板が変形してしまいます。逆に、温度が低すぎると、不良な接続部分ができてしまいます。 IRランプを使えば、数秒で必要な高温に到達できます。また、出力を調整したり、熱を特定の場所に集中させたりすることで、接続部付近の部品を壊さずに適切な処理が可能です。
クリーンルームでの使用
私たちは、このランプをシンプルな構造にしています。ファンがないため、ほこりや微粒子がウェーハに付着する心配もありません。非常に静かです。 しかし、注意点もあります。高出力のIRランプは局所的に高温になります。長時間高功率のランプを使う場合は、適切な放熱装置が必要です。そうでないと、自分の電子機器が壊れてしまいます。 私たちにとって、IRランプは環境に優しい乾燥方法です。発熱体からはVOCが排出されず、加熱時間もほぼゼロです。スイッチを入れればすぐに高温になり、処理が始まります。1時間もかけてオーブンが温まるのを待つ必要はありません。