バイオセンサーの製造における「ガラスの雨」を防ぐ方法
正直言って、バイオセンサーの製造では、たった一回の故障で一週間分の作業が台無しになってしまうこともあります。
例えば、高負荷状態で赤外線ランプが壊れてしまったら、単に停止するだけでは済みません。作業場全体が石英の破片やハロゲンガスで覆われてしまうのです。そのような物質がシリコン基板に付着してしまうと、それはもう永久的なダメージとなります。簡単に拭き取ることはできません。まさに悪夢です。
どうやって故障を防ぐか
私たちは、耐久性の高い赤外線ランプを開発しました。ほとんどの場合、このランプが壊れる原因は、何らかの局所的な過熱や密封不良です。これを解決するために、高純度の融成石英を使用しています。
この融成石英の素晴らしい点は、高温になっても変形しないということです。安定した状態を保ち続けます。
しかし、それだけではありません。さらに保護用のカバーも追加しました。これはまるで安全網のようなものです。もし内側のガラスが壊れても、外側の層がすべてを受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハに破片や粒子が付着することはありません。潜在的な災害を防ぐことができるのです。
熱対策
もし過度な電圧をかけてランプを使ってしまうと、フィラメントが焼けてしまいます。ごく単純な話です。
これを防ぐために、コネクタに重点を置きました。接触抵抗がほぼゼロになるようにして、ソケットが黒く焦げるのを防ぎます。
また、冷却も重要です。高出力のランプは大量の熱を放出します。もし空気の流れが悪ければ、その熱がランプの内部に留まり、石英の密封部に大きな圧力がかかります。必ず空気を循環させておかないと、ランプは自らを破壊してしまいます。
実際の現場での利用
最良な点は、これらのランプはそのまま交換可能だということです。装置全体を再構築する必要はありません。
汚染に強い設計に切り替えることで、「ガラスの雨」による被害を心配する必要もありません。生産が止まるような重大な故障ではなく、単純なメンテナンスで済むのです。
ずっと良いですね。