治療用ランプによる装置全体の過熱を防ぎましょう
もしIRエネルギーが装置の筐体内部に漏れ込んでいるなら、それは設計上の問題です。これはごく当然のことです。
高出力のIRランプを使用すると、その放射エネルギーはウェーハ上に留まるだけではありません。エネルギーは周囲に広がっていきます。その熱がどこに行くかを制御しなければ、装置の内壁がその熱を吸収してしまいます。やがて、外側のケースが人が触れると火傷するほど熱くなり、冷却ファンも必死に動いて対処します。
熱を適切な場所に導く
重要なのは、IR光源と、正しく機能する反射器を組み合わせることです。
通常のランプは、360度全方位に放射光を放出します。しかし、そのランプを放物面や楕円形の反射器に入れることで、光子をウェーハに集中させることができます。これは単に処理速度を上げるためだけではなく、熱が無駄に散逸するのを防ぐためでもあります。
材料の選択が重要
この目的のためには、金メッキされたものや高純度アルミニウムが適しています。金はIR光を非常によく反射するため、最適な材料です。
もし反射器が過剰な熱を吸収してしまうと、変形したり酸化したりします。そうなると、焦点がずれてしまい、ウェーハ上に「冷たい部分」ができてしまいます。そうなると、また最初からやり直すことになります。
また、ランプの取り付け位置の精度も注意が必要です。わずかなずれでも、ビームが数ミリメートルずれてしまいます。それだけで、均一な硬化処理ができず、再び装置の筐体が過熱してしまいます。
実際の設置時のポイント
床に設置する際は、反射器が振動に耐えられるようにしっかり固定してください。
製造現場は騒音が多いため、機械が動くとランプも微妙に動いてしまいます。そのため、すべてをしっかり固定するために、堅牢な取り付けブラケットを使用しましょう。
最後に、ウェーハにより多くの熱を集中させると、ランプの後部が過熱してしまいます。そのため、冷却システムがその熱に対応できるか確認しておきましょう。さもないと、電源装置が壊れてしまいます。