リソグラフィーの工程において、バーク処理は一時停止のためのステップではなく、むしろ制御のための手段です。もしソフトバークやハードバークが均一でなければ、ウェーハの厚みのばらつきや定在波、歩留まりの低下といった問題が生じます。私たちは、そのような変動をなくすために、専用のフォトレジストバーク用ランプ...

リソグラフィーフロアにおいて、ソフトベークとハードベークは単なる工程ではなく、熱的なハンドシェイクです。0.5度のドリフトはCDバイアスをシフトさせ、ホットスポットはウエハーを直進させる欠陥を印刷し、歩留まりの損失を引き起こします。私たちは、プロセスが必要とする場所で熱予算を維持するために、フォト...