ストップランプの破損がウェーハを台無しにするのを防ぐ
半導体の洗浄工程において、ランプが破損するというのは、単なる面倒事や生産停止にとどまらない。それは本当に悪夢のような状況だ。 重負荷によって石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぐ。そうなると、一括でウェーハが破壊されてしまう。私たちは、そうしたことが起こらないように、特別に防水仕様の赤外線ランプを開発したのだ。
なぜランプが破損するのか
実際、洗浄環境は非常に過酷だ。高ワット数の熱源が、わずか数センチ離れた場所にあるのだ。 温度の変動も激しい。もし水滴が高温の石英管に当たると、瞬時に割れてしまう。これを防ぐために、私たちはフィラメントを特殊な防水ケースで覆い、両端も密封している。これにより、水や熱が直接触れることがない。
汚れを内部に閉じ込める
私たちは、単に両端を密封するだけにとどまらず、汚れを内部に閉じ込めることにも力を入れている。 つまり、フィラメントが焼き切れたり、内側の管が割れたりしても、外側の保護ケースがすべてを受け止めるのだ。そうすることで、微細なガラス粒子がウェーハに混入する心配がなくなる。 また、その保護ケースには高純度の材料が使用されているため、熱は依然として伝わる。しかし、洗浄液の化学的性質を乱すことはない。
実際の妥協点
正直、完璧なものなんてない。 この保護層を追加すると、少し熱伝達が遅くなる。裸の管の場合よりも、少し時間がかかって温まる。そのため、PID調整を行い、表面温度を適切に保つ必要がある。 もう一つ、シール部分に注意すること。500時間ごとにチェックすることをお勧めする。シールが劣化すると、湿気が侵入し、再び熱衝撃のリスクが生じる。また、配線には高耐熱性のワイヤーを使用し、高温になってもコネクタが溶けないようにすることが重要だ。