赤外線ランプ取り付けクリップ

リソグラフィーラインでは、フォトレジストのベイク処理中に2℃もの温度変動があるだけで、多大な損失を被ることになります。そこで、ウェハ全体で±0.1℃の範囲内に温度を維持できるように、赤外線ランプ用のクリップを改良しました。この業界においては、歩留まりはこうした温度差によって決まります。 重要なポイ...