不安定な性質を持つ化学物質を扱う際には、金メッキされた赤外線ランプが必要です。半導体の化学洗浄作業を行っている人なら、その厳しい環境をよく知っているでしょう。周囲には可燃性の溶剤や爆発性の気体があります。そうした環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具というだけでなく、危険因子にもなり得ます。
だからこそ、私たちは金メッキされた石英を使用しています。発光スペクトルを調整し、特別な封止処理を施すことで、スパークが空気に触れないようにしています。
なぜ金が重要なのか 実は、石英の外殻に薄い金層を塗ることで、短波長の放射光をウェーハの方へと向けることができます。これにより、2つの効果が得られます。第一に、必要な場所での熱密度を高めることができます。第二に、チューブの外側を冷やすことができます。エネルギーが外部に漏れ出さずに前進するため、ランプが可燃性の気体の燃料になることはありません。
しっかりと密封すること 「洗浄」の環境では、密封性が最も重要です。電極接続部には高温耐性のある樹脂を使用し、石英と金属の間にも強化された密封構造を用いています。これにより、化学物質がフィラメントを腐食したり、端子で放電が起こったりするのを防ぎます。もし密封が失われれば、ランプは使えなくなってしまいます。私たちは、半導体洗浄で使われる腐食性物質に耐えられるように、このランプを設計しています。
注意すべき点 このランプは非常に強力です。金がエネルギーを効率的に集中させるため、急激な温度差が生じます。PIDコントローラーの設定には注意が必要です。正確に設定しなければ、目標温度を超えてしまう可能性があります。また、メンテナンスを行う際には、強力な研磨剤を使ってはいけません。金層は非常にデリケートです。強力な研磨剤を使うと、コーティングが剥がれてしまい、効率が低下してしまいます。最後に、接地が適切に行われているかを確認してください。爆発性のある環境では、単一の接地不良でも大惨事につながります。使用する化学物質に適した筐体かどうかを必ず確認してください。