熱の無駄遣いを止めよう：金メッキ反射板の利点
シリコンウェーハを加熱する際、無駄になる1ワット毎が、実質的にはお金の無駄になります。さらに、不必要な汚染リスクも生じます。一般的な反射板では、エネルギーがあちこちに散乱してしまいます。しかし私たちは異なる方法を採用しています。金メッキ反射板を使用することで、エネルギーをウェーハ表面に直接戻します。これにより、支払った電力が本当に必要な場所で熱に変わるのです。
なぜ金なのか？
それは見た目の問題ではありません。単に、金が赤外線を反射するのに最適だからです。アルミニウムも一般的ですが、高温になると剥がれたり、効果が失われたりします。一方、金は安定した特性を持っています。これにより、赤外線ビームを集中させることができます。その結果、ウェーハ上の熱分布がより均一になり、過度な電圧をかける必要がなくなります。これにより、ランプの早期破損も防げます。
空気の浄化
半導体製造では、オゾンは大きな問題です。オゾンは化学反応を妨げます。この問題を解決するため、私たちは特殊な石英混合物とフィルターを使用して、オゾンを生成する短波長の紫外線を除去します。これにより、クリーンルーム内で高価な清掃システムを使う心配がなくなります。
ハードウェアについての注意点
ただし、こんなに多くのエネルギーを狭い範囲に集中させると、部品が非常に高温になります。高速生産ラインで使用する場合は、冷却装置をしっかりチェックする必要があります。冷却装置が十分でないと、金メッキが剥がれたり酸化したりしてしまい、結果としてウェーハの均一性が損なわれます。
利用方法
最良の点は、これらが既存のIRアレイの簡単な交換パーツになっていることです。既存の電源に接続すればすぐに使用できます。すぐに違いが分かります。ウェーハ全体の温度分布がずっと均一になります。もう熱点の心配もなく、硬化やアニーリング時の歪みも大幅に減ります。本当に効果的です。