均一性フォトレジスト焼成ランプ

リソグラフィーの工程において、バーク処理は一時停止のためのステップではなく、むしろ制御のための手段です。もしソフトバークやハードバークが均一でなければ、ウェーハの厚みのばらつきや定在波、歩留まりの低下といった問題が生じます。私たちは、そのような変動をなくすために、専用のフォトレジストバーク用ランプ...