スマートファブで適切な熱管理を実現するためには、単にいくつかの高度なソフトウェアを導入するだけでは不十分です。高温状態でもしっかりと機能するハードウェアが必要です。もし機器が熱ストレスによって故障してしまったら、ソフトウェアの性能は意味をなしません。 熱エネルギーを集めるためには、多くの場合、高効...

時間を無駄にして空気が温まるのを待つのはやめましょう。 もし今でも半導体の加工に熱風を使っているなら、それは時間の無駄という形で「中間業者への支払い」をしていることに他なりません。考えてみてください：まず空気を温め、その後でその空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは非常に遅いプロセスです。...

不安定な性質を持つ化学物質を扱う際には、金メッキされた赤外線ランプが必要です。半導体の化学洗浄作業を行っている人なら、その厳しい環境をよく知っているでしょう。周囲には可燃性の溶剤や爆発性の気体があります。そうした環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具というだけでなく、危険因子にもなり得ます。 だ...

製造現場では、ソフトベイクの際にわずか半度の温度変動があっても、ウェハの寸法が崩れてしまい、多くのウェハが廃棄されてしまいます。ですから、信頼性の高い、安定した、再現性のある加熱が必要です。 内部で重要なのは何か 私たちは、先進的なプロセスノードに適応するために、PID制御式の半導体ヒーターを開発...

工場フロアでは、フォトレジストの焼成中に0.5℃のドリフトは「小さな偏差」ではありません。それはラインを破壊する要因です。ウェーハはリソグラフィーのために待機し、熱的不安定性がスループットを分単位で奪い、デバイスが廃棄されます。生の温度を追いかけることは忘れてください。重要なのは制御、再現性、およ...