高性能パッケージ用赤外線ランプ

ライン上では、時計の針は熱ドリフトが安定するのを待たない。 ウェハはクリーンリンスから出てきて、まだエッジに水滴が付着している。フォトレジストは、範囲ではなく1度以内の精度でソフトベークを必要としている。後工程では、エンキャプサントやアンダーフィルは、シフトごとに安定したキュアプロファイルを保持し...