ウェーハ用高精度IRセンサー

真空チェンバーを過度に加熱しないようにしましょう 半製品の製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを適切な温度に保つ必要がありますが、その過程で装置全体が焼けてしまっては困ります。 問題は、一般的なIRランプは実質的には強化された電球のようなもので、熱をあらゆる方向に...