なぜクォーツガラス製のシールドがIRヒーターにとって重要なのか 半導体製造現場では、微小な単位での精度が求められます。つまり、マイクロメートルやミリ秒といった極めて微細な単位です。ここは非常にストレスの多い環境です。多くの人々はIRヒーター自体に注目しますが、実際にはヒーターは全体のうちの半分に過...

製造現場では、ソフトベイクの際の熱的なドリフトや、乾燥室内の局所的な低温領域が、必要な温度管理を妨げてしまいます。その結果、ウェハがクリーンルームを出る前から歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような問題を防ぐために、石英ヒーターチューブを特別に設計しました。つまり、過程が要求する温度を維...