FOUP フロントオープニング統合ポッド 式乾燥機

300mmウェハの場合、ウェハに微細な水痕が付着しているだけで、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。従来の乾燥方法では、ウェハの表面全体の温度分布に依存しているため、リスクが伴います。しかし、プロセスの精度がナノメートル単位で決まる現在では、そのようなリスクは許されません。 重要な点 この...