不安定な状況でも安定性を保つ もし化学洗浄ラインで赤外線ヒーターを使用しているのであれば、その厳しさはご存知でしょう。可燃性の蒸気や腐食性の液体があり、それらが設備を破壊しかねません。そのような環境では、普通の赤外線ランプは単なる道具に過ぎず、むしろ危険な存在です。 だからこそ、私たちは真空対応の...

もう、ヒーターを待つのはやめましょう：真空赤外線加熱の真実 もしまだ半導体処理において熱風循環に頼っているのであれば、それは時間との戦いに負けていることに他なりません。 問題は、真空状態では空気が存在しないため、ウエハーに熱を直接与えることができないという点です。そこで役立つのが真空赤外線加熱器で...

ファブフロアでは、ソフトベークおよびハードベークは単なる加熱工程ではなく、歩留まりの門番である。0.5℃のずれがCD制御を破壊し、粒子のスパイクが大きな損失を招く。真空炉の加熱素子は、低圧下で安定した熱を保持し、発ガスや汚染を生じさせてはならない。 加熱素子に求められる要件 真空炉用加熱素子は、再...