熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされた反射板が重要なのか 正直に言えば、半導体製造プロセスにおけるエネルギーの無駄遣いは、単純に設計が悪いということです。 高出力の赤外線ランプを使用すると、そのエネルギーの大部分は基板に届かず、機械内で消散してしまいます。これは明らかな電力の無駄遣いです...

ウェーハ製造の現場では、すぐに学習できます。フォトレジストを加熱する際に1℃の温度変動があるだけで、300mmサイズのウェーハ全体がダメになってしまうこともあります。温度の均一性は単なる数値上の指標ではなく、良品を作り出すか不良品を作り出すかの分水嶺なのです。私たちは、その分水嶺で機能するように、...