熱損失を防ぐ：より効率的なファブの運用方法 もし実際にファブで炭素中和という目標を達成したいのであれば、必要のない部分を加熱することをやめなければなりません。 私たちの多くは、対流式の加熱方式に慣れています。つまり、巨大な空間全体を温めて、ウェーハがその熱を受け取ることを期待するわけです。これは無...

なぜクォーツガラス製のシールドがIRヒーターにとって重要なのか 半導体製造現場では、微小な単位での精度が求められます。つまり、マイクロメートルやミリ秒といった極めて微細な単位です。ここは非常にストレスの多い環境です。多くの人々はIRヒーター自体に注目しますが、実際にはヒーターは全体のうちの半分に過...

気化性化学物質の周辺でIRヒーターを安全に使用する方法 もし、化学洗浄エリアでIRランプを使用しているのであれば、そこがいかに危険な環境かはご存知でしょう。可燃性の蒸気が漂っており、また、触れるものを腐食させるような有害な物質も存在します。 そのような場所で単純な石英管を使うのは、まさに自ら問題を...

壁の加熱をやめましょう：ウェーハを乾燥させるためのより良い方法 もしファブで乾燥処理を行ってきたことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。ウェーハを乾燥させようとしているのに、エネルギーの半分が機械の筐体に漏れてしまいます。これは本当に厄介です。結局、内壁が焼けてしまい、機械全体が触れるのも危険な...

ウェーハ製造工程で熱を無駄にしないようにしましょう。 正直に言って、ウェーハ製造工程でエネルギーが無駄になるのは、単にコスト面での問題だけではありません。それは汚染のリスクにもつながります。 高出力の加熱素子を使うと、その赤外線エネルギーの大部分が単に失われてしまいます。つまり、エネルギーは対象物...

高負荷下でのウェーハ硬化処理におけるクォーツ管の破損防止 高負荷の製造環境では、ランプが故障すると大変な事態になります。単に生産停止にとどまらず、硬化処理中にクォーツ管が破裂すると、破片や化学物質があちこちに飛び散ります。そうなるとウェーハが汚染され、大量の清掃作業が必要になります。私たちは、この...

掃除用化学薬品が爆発しそうな状況でも、物を安全に保つ方法 もし、可燃性や爆発性のある洗剤の近くで赤外線ヒーターを使用する場合、通常のオープンエレメント式のランプはまさに時限爆弾のようなものです。これは大きなリスクです。そのため、私たちは炭素繊維製のランプを開発しました。このランプは、発火を防ぎ、腐...

はじめに いきなり本題に入りましょう。製造ラインでは、停止時間というのは単なる修理費用というだけではありません。それは生産性の損失です。ごくシンプルなことです。 だからこそ、私たちは実際の現場向けに工業用加熱ランプを開発しているのです。つまり、1分1秒が重要な場所で使えるようにです。私たちの加熱器...

なぜ、適切な赤外線ランプがあなたの組立工場にとって強力な武器になり得るのか 私たちは鋳造所向けのRTP赤外線ランプを製造していますが、正直、妥協の余地はありません。実際の生産現場では、加熱素子は非常に頑丈でなければなりません。繰り返し使用されても性能を失わず、かつコストも抑えられる必要があります。...

製造現場では、ソフトベイクの際の熱的なドリフトや、乾燥室内の局所的な低温領域が、必要な温度管理を妨げてしまいます。その結果、ウェハがクリーンルームを出る前から歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような問題を防ぐために、石英ヒーターチューブを特別に設計しました。つまり、過程が要求する温度を維...

ファブフロアでは、ソフトベークおよびハードベークは単なる加熱工程ではなく、歩留まりの門番である。0.5℃のずれがCD制御を破壊し、粒子のスパイクが大きな損失を招く。真空炉の加熱素子は、低圧下で安定した熱を保持し、発ガスや汚染を生じさせてはならない。 加熱素子に求められる要件 真空炉用加熱素子は、再...

ファブフロアでは、温度コントローラーは安定しているように見える。ランプが点灯し、ベルトが動き始める。だが、アラームが鳴る—過温度異常、電流制限トリップ、コネクタの発熱。リソグラフィやフォトレジストのベイクトラックにおいて、その一度の中断は単一の装置停止にとどまらない。後続のキューを停止させ、熱の再...