ウェーハ製造工程で熱を無駄にしないようにしましょう。 正直に言って、ウェーハ製造工程でエネルギーが無駄になるのは、単にコスト面での問題だけではありません。それは汚染のリスクにもつながります。 高出力の加熱素子を使うと、その赤外線エネルギーの大部分が単に失われてしまいます。つまり、エネルギーは対象物...

なぜクリーンルームでIRランプを使用するのか？ クリーンルーム内での乾燥や硬化処理において、従来の対流式オーブンでは不十分です。特に、今では「無鉛」や「環境に優しい」という基準が求められているためです。単に化学物質を変えるだけではなく、実際に熱を部品にどう伝えるかが重要です。 IRとホットエアの違...

製造現場では、わずか1.2℃の温度変動だけで、本来は規格内にあるべきフォトレジストの特性が台無しになってしまうことがあります。そうした問題を解決するために、私たちはクリーンルーム用の赤外線ヒーターを開発しました。これは、半導体製造の現実的な要件に合わせて設計されており、限られた熱エネルギーの中で、...