なぜエンジニアがこの加熱装置を選ぶのか？ スマートファブを構築する際、加熱システムもPLCの論理と同じくらい優れていなければなりません。そのため、私たちは実際の自動化生産現場で使えるように、金コーティングが施されたツインチューブ式のランプを開発しました。これはデジタル制御システムに容易に組み込むこ...

製造現場では、ソフトベイクの際の熱的なドリフトや、乾燥室内の局所的な低温領域が、必要な温度管理を妨げてしまいます。その結果、ウェハがクリーンルームを出る前から歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような問題を防ぐために、石英ヒーターチューブを特別に設計しました。つまり、過程が要求する温度を維...

ウェーハ製造の現場では、すぐに学習できます。フォトレジストを加熱する際に1℃の温度変動があるだけで、300mmサイズのウェーハ全体がダメになってしまうこともあります。温度の均一性は単なる数値上の指標ではなく、良品を作り出すか不良品を作り出すかの分水嶺なのです。私たちは、その分水嶺で機能するように、...