壁の加熱をやめましょう：ウェーハを乾燥させるためのより良い方法
もしファブで乾燥処理を行ってきたことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。ウェーハを乾燥させようとしているのに、エネルギーの半分が機械の筐体に漏れてしまいます。これは本当に厄介です。結局、内壁が焼けてしまい、機械全体が触れるのも危険なほど熱くなってしまいます。これはメンテナンスを行う人にとっては悪夢です。
私たちは、方向性のある赤外線加熱を利用することで、この問題を解決しました。
ポイントは、熱がどこに向かうかです。
ほとんどのヒーターは電球のように、エネルギーをあらゆる方向に放出します。狭いファブでは、その無駄な熱は壁にしか行き場がありません。私たちは、反射器を持つ短波長の赤外線ランプを使用しています。これにより、熱が一箇所に集中します。
その結果、熱は目的の場所に届き、筐体の他の部分は冷たく保たれます。
ただし、多少のトレードオフがあります。
最も良い点は速度です。部屋全体が熱くなるのを待つ必要がありません。光子はほぼ瞬時に基板に到達します。非常に速いのです。また、高出力密度を利用しているため、装置自体が大きくなりません。
しかし、冷却システムには注意が必要です。壁は冷たく保たれますが、ランプ自体は非常に熱くなります。使用するワット数に合った風量を設定しなければ、ソケットが壊れたり、サーマルセンサーが故障したりする可能性があります。
なぜわざわざそんなことをするのか？
「熱い壁」という問題を解決することは、単に電気代を節約するだけではありません。床面も安全になります。ウェーハを迅速に処理したり、定期的なメンテナンスを行う際に火傷する心配もありません。さらに、ウェーハ全体の温度が均一になり、変形が大幅に減少します。
私たちは、これらを簡単に交換できるように設計しました。通常のヒーターを交換し、PIDコントローラーを使って温度を正確に管理すればよいのです。そうすれば、壁にエネルギーを無駄にすることなく、作業員が救急箱を探しに行くような状況を避けることができます。