ウェーハ製造工程で熱を無駄にしないようにしましょう。
正直に言って、ウェーハ製造工程でエネルギーが無駄になるのは、単にコスト面での問題だけではありません。それは汚染のリスクにもつながります。
高出力の加熱素子を使うと、その赤外線エネルギーの大部分が単に失われてしまいます。つまり、エネルギーは対象物から放散されてしまい、空間に消えてしまうのです。これを解決するために、金でコーティングされた反射板を使用します。高純度の金膜でチャンバー内を覆うことで、すべての熱を再びウェーハに戻すことができます。
なぜ金なのか？
それは、金が赤外線を効果的に反射できるからです。一般的なアルミニウムや磨かれた鋼鉄では不十分で、多くのエネルギーが漏れてしまいます。一方、金は98％もの熱を反射できます。つまり、ランプから出るエネルギーがすべてシリコンに届くのです。そうすることで、より安定した温度管理が可能になり、温度上昇の時間も短縮されます。
しかし、問題もあります。あまりに多くのエネルギーを狭い空間に集中させると、重大な熱膨張が起こります。そのため、チャンバーの壁周辺の過剰な熱に対処できる冷却装置が必要です。冷却が追いつかないと、装置が歪んでしまいます。誰もそんな状況は望みません。
実際に導入する方法
これらは、そのまま交換可能な形で作られています。パワーラックを分解したり、システム全体を再配線したりする必要はありません。私たちは、光路部分のみに焦点を当てています。ただし、注意点があります。このコーティングは化学的な蒸気によって損傷を受けやすいので、定期的な清掃が必要です。酸化や汚れが蓄積すると、反射率が低下します。そうなると、ランプはより多くのエネルギーを使って、同じ効果を得ようとします。
考え方を少し変えるだけです。単に電圧を上げて期待するのではなく、エネルギーを適切な場所に向けるのです。そうすれば、電源の負担も軽減され、ウェーハ全体の温度も安定します。