水素センサーを加熱するためのより良い方法 水素センサーを作る際には、熱が非常に重要です。もし温度管理が適切でなければ、触媒は機能しなくなったり、センサーの膜が壊れてしまったりします。長年にわたり、私たちは大型の抵抗加熱器を使ってきましたが、それは実質的に巨大な空気加熱器であり、大量のエネルギーを無...

なぜ私たちは大型オーブンを捨ててIR硬化処理を採用するのか 正直に言えば、半導体のパッケージングに何年も使われてきたあの巨大な対流式オーブンは、まるで家全体を温めても、結局はコーヒー1杯を温めるだけというようなものです。これは無駄遣いです。 だからこそ、みんながIR硬化処理に移行しているのです。そ...

赤外線を利用したMEMSウェーハの乾燥処理 MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させる際には、適切なバランスを見つける必要があります。水分を取り除く必要はありますが、同時に残留物を残してはいけません。また、ハードウェアに過度な負担をかけてはなりません。 そのため、私たちは赤外線を利用するのです。化学薬...

真空チェンバーを過度に加熱しないようにしましょう 半製品の製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを適切な温度に保つ必要がありますが、その過程で装置全体が焼けてしまっては困ります。 問題は、一般的なIRランプは実質的には強化された電球のようなもので、熱をあらゆる方向に...