ランプ用SCR電力調整器

ファブフロアにおけるフォトレジストベークプロファイルは、ランプアレイの安定性に集約される。ソフトベークの温度が0.5°Cでもずれると、CD制御に影響が出る。ハードベークで1.0°Cの変動があると、スカミングや残渣が発生する。そこで、ランプ用にSCRパワーレギュレータを開発し、シフトをまたいで安定し...