ファブ乾燥のエネルギー監査

壁の加熱をやめましょう：ウェーハを乾燥させるためのより良い方法 もしファブで乾燥処理を行ってきたことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。ウェーハを乾燥させようとしているのに、エネルギーの半分が機械の筐体に漏れてしまいます。これは本当に厄介です。結局、内壁が焼けてしまい、機械全体が触れるのも危険な...