洗浄用防水赤外線ランプ

ストップランプの破損がウェーハを台無しにするのを防ぐ 半導体の洗浄工程において、ランプが破損するというのは、単なる面倒事や生産停止にとどまらない。それは本当に悪夢のような状況だ。 重負荷によって石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぐ。そうなると、一括でウェ...