PID制御型半導体ヒーター

製造現場では、ソフトベイクの際にわずか半度の温度変動があっても、ウェハの寸法が崩れてしまい、多くのウェハが廃棄されてしまいます。ですから、信頼性の高い、安定した、再現性のある加熱が必要です。 内部で重要なのは何か 私たちは、先進的なプロセスノードに適応するために、PID制御式の半導体ヒーターを開発...