ウェーハ加熱時の安全距離

熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 シリコンウェーハを加熱することは一見簡単そうに思えますが、実際に現場で作業をしているエンジニアなら、実際の問題が何であるかを知っています。それは、不要な熱です。 一般的な加熱装置を使うと、エネルギーはウェーハだけでなく、真空チャンバーの内壁に...