高温を維持しつつ、事故を防ぐ 化学洗浄ラインで赤外線ヒーターを使用するとき、それはまるで高リスクなゲームのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、腐食性のある液体も存在しています。これらの要因により、大惨事が起こり得ます。 一般的な石英管ではダメです。ちょっとした火花や配線の緩みだけで、...

300mmウェハの場合、ウェハに微細な水痕が付着しているだけで、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。従来の乾燥方法では、ウェハの表面全体の温度分布に依存しているため、リスクが伴います。しかし、プロセスの精度がナノメートル単位で決まる現在では、そのようなリスクは許されません。 重要な点 この...