感光材焼き付け用ランプ

リソグラフィーフロアにおいて、ソフトベークとハードベークは単なる工程ではなく、熱的なハンドシェイクです。0.5度のドリフトはCDバイアスをシフトさせ、ホットスポットはウエハーを直進させる欠陥を印刷し、歩留まりの損失を引き起こします。私たちは、プロセスが必要とする場所で熱予算を維持するために、フォト...