赤外線を利用したMEMSウェーハの乾燥処理 MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させる際には、適切なバランスを見つける必要があります。水分を取り除く必要はありますが、同時に残留物を残してはいけません。また、ハードウェアに過度な負担をかけてはなりません。 そのため、私たちは赤外線を利用するのです。化学薬...

壁の加熱をやめましょう：ウェーハを乾燥させるためのより良い方法 もしファブで乾燥処理を行ってきたことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。ウェーハを乾燥させようとしているのに、エネルギーの半分が機械の筐体に漏れてしまいます。これは本当に厄介です。結局、内壁が焼けてしまい、機械全体が触れるのも危険な...

200mmプロセスにおいて、洗浄後の乾燥処理は単なる停止時間に過ぎません。実際には、表面張力や残存する溶剤、微細な汚染物質が、次のフォトレジスト塗布が所定の基準を満たすかどうかを決定するのです。そうでなければ、リソグラフィー工程で問題が生じます。 実際に重要なのは何か 私たちの200mmウェーハ乾...