PID控制型半导体加热器

在晶圆加工过程中，即使是0.5度的温度偏差，也足以导致晶圆的尺寸失控，进而造成大量晶圆报废。因此，需要的是一种稳定、可重复且精准的加热方式。 关键在于控制精度 我们设计了这种PID控制的半导体加热器，以匹配先进制程对温度控制的要求。闭环控制系统能够确保晶圆表面的温度保持在±0.1℃范围内，从而保证...