定制红外线晶圆加热器

在24/7的晶圆厂车间中，烘烤温度的漂移或颗粒激增不仅仅表现为图表上的一条线——它会导致大量晶圆报废。在晶圆处理过程中，光刻胶软烘和硬烘阶段对热偏差没有任何容忍余地。我们设计的定制红外加热器能够保持热曲线稳定，循环周期一致。 技术重点 我们研发的近红外（NIR）加热器用于晶圆级温度控制，能够实现基...