FOUP 前端开口式统一处理舱 干燥机

在300毫米工艺线中，只要有一个FOUP从清洗设备中取出时带有微量水渍，就足以导致整批产品报废。而采用传统干燥方式的话，其实就是在赌晶圆表面的温度分布是否均匀。但当工艺要求达到纳米级精度时，这种风险是无法接受的。 关键性能指标 这款FOUP干燥机能够实现±0.1°C的晶圆表面温度均匀性——这一数值...