用于光刻机的石英玻璃护盾

为何石英玻璃屏蔽层对红外加热系统如此重要？ 在半导体制造厂中，我们处理的都是极其微小的数值——以微米和毫秒来衡量。这无疑是一个高压力环境。大多数人只关注红外加热灯本身，但实际上，加热灯只是整个系统的一半而已。 如果您希望实现绿色生产目标，或者避免浪费电能，那就必须考虑热量是如何传递到晶圆上的。这时...