节能型晶圆加热器

红外线加热与热风加热：别再等待晶圆升温了 我仍然看到许多半导体生产工厂仍依赖热风来为晶圆加热。这是一种传统的加热方式，但说实话，这种方式效率极低。 问题在于加热速度太慢。空气作为传热介质的效果实在糟糕，因此需要花费大量时间来等待炉腔内的温度上升，以及晶圆达到设定温度。这就像在等待油漆干涸一样，而此...