晶圆加热的安全距离

停止浪费热量：更有效的晶圆加热方式 给硅晶圆加热听起来很简单，但任何有过实际操作经验的工程师都知道，真正的难题在于如何控制热量分布。 当使用那种会向四周散发热量的普通加热器时，热量不仅会作用于晶圆本身，还会影响到真空腔室的内壁。这显然会带来灾难性后果——要么是设备结构变形，要么就是操作人员一打开机...