均匀性光刻胶烘烤灯

在光刻工艺中，烘烤步骤并非简单的暂停操作，而是一种可精确控制的环节。如果烘烤过程不够均匀，那么就会导致晶圆厚度不均、产生驻波现象，进而降低成品率。我们设计的光刻胶烘烤灯，就是为了消除这些不确定性。 其核心在于对晶圆表面的精准温度控制。通过使用短波和中等波长的卤素元件，再结合石英光学元件以及精心设计...