感光胶烘烤灯

在光刻车间，软烘焙和硬烘焙不仅仅是步骤——它们是热传递的握手。半度的漂移会影响CD偏差，而热点可能会在晶圆上印刷出缺陷，直接导致良率损失。我们设计的光刻胶烘烤灯旨在将热预算保持在工艺所需的范围内。 其核心是波长选择性的红外线，由与光刻胶吸收相匹配的短波和中波石英发射器提供。这意味着快速、直接加热光...