红外线加热与热风加热：别再等待晶圆升温了 我仍然看到许多半导体生产工厂仍依赖热风来为晶圆加热。这是一种传统的加热方式，但说实话，这种方式效率极低。 问题在于加热速度太慢。空气作为传热介质的效果实在糟糕，因此需要花费大量时间来等待炉腔内的温度上升，以及晶圆达到设定温度。这就像在等待油漆干涸一样，而此...

停止浪费热量：更有效的晶圆加热方式 给硅晶圆加热听起来很简单，但任何有过实际操作经验的工程师都知道，真正的难题在于如何控制热量分布。 当使用那种会向四周散发热量的普通加热器时，热量不仅会作用于晶圆本身，还会影响到真空腔室的内壁。这显然会带来灾难性后果——要么是设备结构变形，要么就是操作人员一打开机...

用红外线干燥MEMS晶圆 在干燥MEMS传感器晶圆时，需要找到一个完美的平衡点。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，更不能对芯片本身造成损害。 正因如此，我们选择使用红外线进行干燥处理。与使用化学物质或加热空气相比，红外线可以直接作用于水分子，从而实现更高效的干燥效果。这种方式更加环保，...

避免红外灯的热量让整个机器过热 如果红外能量泄漏到机器的机壳中，那显然就是设计上的问题了。很简单。当使用高功率的红外灯时，其辐射不会只停留在晶圆上，而是会四处扩散。如果不控制这些热量的去向，机器的内部部件就会吸收这些热量。很快，机器的外壳就会变得足够热，甚至可能烫伤人。同时，冷却风扇也会因为要散热...

别再让真空室被过度加热了 那些在半导体制造领域工作过的人都知道这个难题：需要将晶圆加热到适当温度，但又不能让整个设备一起被烧坏。 问题在于：普通的红外灯其实就像强化的灯泡——它们向各个方向释放热量。其中大量能量并没有照射到晶圆上，而是直接照射到真空室的内壁上。当这些内壁吸收了过多的热量后，就会出现...

引言 让我们来谈谈一个真正的痛点：那些价格高得离谱的进口半导体组件。尤其是那些用于晶圆加工的红外加热灯。 大家都在思考一个问题：我们能否找到一种可以直接替代的国产产品呢？不需要任何改装或调整，只需将其插入即可使用。 好消息是，我们已经设计出了这样的产品。 技术细节 这些加热器的性能要求极为严格，我...

在200毫米晶圆加工线上，清洁后的干燥工序并非简单的等待时间。实际上，表面张力、残留溶剂以及微小污染物等因素决定了下一层光刻胶能否正确沉积在晶圆上——否则，光刻过程就会失败。 真正重要的因素是什么？ 我们的200毫米晶圆干燥模块采用了可重复控制的热处理方式。加热区域内的温度均匀性可保持在±0.1℃...

在晶圆加工过程中，光刻胶的烘烤参数至关重要——它直接决定了产品能否合格。如果在软烘或硬烘过程中温度偏差达到2℃，那么晶圆的尺寸就会发生变化，从而导致缺陷产生。我们设计的红外灯座正是为了解决这个问题：确保在晶圆加工过程中能够保持稳定的温度。 从技术层面来看，关键因素与生产线上的要求是一致的。我们将短...

在24/7的晶圆厂车间中，烘烤温度的漂移或颗粒激增不仅仅表现为图表上的一条线——它会导致大量晶圆报废。在晶圆处理过程中，光刻胶软烘和硬烘阶段对热偏差没有任何容忍余地。我们设计的定制红外加热器能够保持热曲线稳定，循环周期一致。 技术重点 我们研发的近红外（NIR）加热器用于晶圆级温度控制，能够实现基...