标签为“剪辑”的页面如下 红外灯安装夹 在光刻生产线上,如果在光刻胶烘烤过程中温度出现2°C的波动,就足以导致大量产品报废。我们重新设计了红外灯的固定装置,从而确保整个晶圆上的温度保持在±0.1°C的范围内。因为在这个行业里,产品的合格率取决于温度控制的精确度。 关键在于: 该固定装置能够将红外灯稳定地固定在适当位置,从而保证石英与发光... Read more...
红外灯安装夹 在光刻生产线上,如果在光刻胶烘烤过程中温度出现2°C的波动,就足以导致大量产品报废。我们重新设计了红外灯的固定装置,从而确保整个晶圆上的温度保持在±0.1°C的范围内。因为在这个行业里,产品的合格率取决于温度控制的精确度。 关键在于: 该固定装置能够将红外灯稳定地固定在适当位置,从而保证石英与发光... Read more...