用红外线干燥MEMS晶圆 在干燥MEMS传感器晶圆时，需要找到一个完美的平衡点。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，更不能对芯片本身造成损害。 正因如此，我们选择使用红外线进行干燥处理。与使用化学物质或加热空气相比，红外线可以直接作用于水分子，从而实现更高效的干燥效果。这种方式更加环保，...

停止给墙壁加热：一种更有效的晶圆干燥方法 如果您曾负责过工厂中的晶圆干燥工作，那么您一定明白其中的难题。虽然我们试图让晶圆变干，但有一半的能量却浪费在了机器的机壳上。这实在令人沮丧。最终，机器的内壁会被烧坏，而机器本身也会变得极其烫手，这对于需要维护它的人来说简直就是一场噩梦。 我们找到了一种解决...

在200毫米晶圆加工线上，清洁后的干燥工序并非简单的等待时间。实际上，表面张力、残留溶剂以及微小污染物等因素决定了下一层光刻胶能否正确沉积在晶圆上——否则，光刻过程就会失败。 真正重要的因素是什么？ 我们的200毫米晶圆干燥模块采用了可重复控制的热处理方式。加热区域内的温度均匀性可保持在±0.1℃...