灯用硅控整流器电源调节器

在晶圆厂，光刻胶烘烤工艺的关键在于灯阵列的稳定性。如果您的软烘烤温度漂移甚至达到0.5°C，CD控制就会失效。让硬烘烤温度漂移1.0°C，您就会看到污垢和残留物。我们为灯具设计了一个SCR功率调节器，这样您就可以在多个班次中保持这些窗口的稳定。 技术要点 该调节器采用硅控整流器拓扑结构，并具有闭环...