在晶圆加工过程中，光刻胶的烘烤参数至关重要——它直接决定了产品能否合格。如果在软烘或硬烘过程中温度偏差达到2℃，那么晶圆的尺寸就会发生变化，从而导致缺陷产生。我们设计的红外灯座正是为了解决这个问题：确保在晶圆加工过程中能够保持稳定的温度。
从技术层面来看，关键因素与生产线上的要求是一致的。我们将短波和中波的近红外光源与石英元件结合使用， thereby实现快速、精准的加热效果，并延长灯具的使用寿命。目标是将晶圆表面的温度均匀性控制在±0.1℃以内，而不同批次之间的温度稳定性则保持在±0.5℃以内。在5,000小时的使用时间里，其输出稳定性应保持在2%以内。该灯具设计为可24/7连续工作，且其连接器及安装方式也适合各种常见的晶圆加工设备。
这就是为什么它能在光刻工艺中发挥良好作用的原因。该灯具能将光刻胶的烘烤温度控制在合适范围内，避免出现过高的温度。由于采用了低挥发性的材料以及有效的粒子控制设计，因此不会因为粒子问题而产生缺陷。近红外光源可直接对光刻胶进行加热，从而减少能源浪费。此外，由于不需要频繁更换灯泡，因此可以减少意外停机时间，同时也有助于更好地控制晶圆的尺寸精度和边缘粗糙度。
一些实用建议：请根据光刻胶的敏感度来选择合适的发光光谱，同时还要确保灯泡的焦平面与晶圆平面保持一致。如果两者不对齐，就会导致晶圆表面出现温度不均的情况。在设备启动时会有短暂的升温过程，这一过程应被纳入生产流程中。另外，还需确保设备的电压和联锁逻辑与灯具的规格相匹配；否则，不仅会缩短灯具的使用寿命，还可能带来安全隐患。