工厂加热器电源线

在晶圆厂车间，温度控制器显示稳定。指示灯点亮。传送带开始运转。然后报警响起——过温异常、电流限制跳闸、连接器过热。在光刻和光刻胶烘烤工艺中，这一次中断不仅仅是停下一台设备。它会拖慢后续排队，破坏热重复性，并导致整个晶圆批次的膜厚偏差。 当加热器是热处理工艺的核心时，电源线就是生命线。它必须日复一日...