열 낭비를 막아보세요: 금 도금 반사체의 장점
실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 낭비되는 에너지는 결국 돈의 낭비라고 할 수 있습니다. 게다가 이로 인해 불필요한 오염 위험도 생깁니다. 일반적인 반사체들은 에너지를 사방으로 흩뜨립니다. 하지만 우리는 다른 방식을 사용합니다. 금 도금 반사체를 사용함으로써, 그 에너지를 다시 웨이퍼 표면으로 되돌려보냅니다. 이렇게 하면 지불한 전력이 실제로 필요한 곳에서 열로 변환됩니다.
왜 금인가?
화려해 보이기 위해서가 아닙니다. 금은 적외선을 반사하는 데 가장 효과적인 재료입니다. 알루미늄도 흔하지만, 고온이 되면 표면이 벗겨지거나 손상될 수 있습니다. 반면 금은 안정적입니다. 이 덕분에 적외선을 집중된 영역으로 모을 수 있습니다. 웨이퍼 위의 열 세기가 훨씬 높아져서, 과도한 전압을 가할 필요가 없어집니다. 그 결과, 램프가 너무 일찍 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.
공기 정화
반도체 제조 공정에서 오존은 큰 문제입니다. 오존은 화학 반응을 방해합니다. 이 문제를 해결하기 위해, 우리는 특수한 석영 혼합물과 필터를 사용하여 오존을 생성하는 단파 자외선을 제거합니다. 이렇게 하면 클린룸 내부에 비싼 공기 정화 시스템을 설치할 필요가 없습니다.
하드웨어에 대한 주의사항
문제는, 그렇게 많은 에너지를 작은 공간에 집중시키면 온도가 매우 높아진다는 것입니다. 만약 이러한 장비를 고속 생산 라인에 사용한다면, 쿨링 시스템을 꼼꼼히 점검해야 합니다. 쿨링 시스템은 추가적인 열을 감당할 수 있어야 합니다. 쿨링이 제대로 되지 않으면 금 도금층이 벗겨지거나 산화될 수 있으며, 그러면 웨이퍼의 균일성이 크게 저하됩니다.
사용 방법
가장 좋은 점은, 이러한 장비들이 기존의 적외선 배열을 대체할 수 있다는 것입니다. 기존의 전원 공급 장치에 연결하기만 하면 됩니다. 거의 즉시 차이를 느낄 수 있습니다. 웨이퍼 전체의 온도 분포가 훨씬 균일해집니다. 더 이상 불필요한 과열 현상도 없으며, 치료나 어닐링 과정에서 웨이퍼가 비틀리는 현상도 줄어듭니다. 그냥 효과적으로 작동합니다.