스톱 램프의 고장이 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요
반도체 세척 공정에서 램프가 고장나는 것은 단순히 문제나 생산 중단을 의미하는 것이 아닙니다. 그것은 진짜 악몽입니다.
큐빅 지르코니아관이 큰 부하로 인해 파손되면, 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이렇게 되면 전체 웨이퍼가 망가지게 됩니다. 우리는 그런 일이 절대 일어나지 않도록 특별히 방수 기능이 있는 적외선 램프를 만들었습니다.
왜 램프가 고장나는가?
세척 환경은 정말 혹독합니다. 고출력의 열원들이 물 분사구와 몇 인치 떨어진 곳에 위치해 있습니다. 온도 변화도 극심합니다. 만약 물방울 하나가 뜨거운 큐빅 지르코니아관에 닿으면, 즉시 균열이 생길 수 있습니다. 이를 막기 위해 우리는 필라멘트를 특수한 방수 커버로 감싸주었습니다. 이렇게 하면 물과 열이 서로 닿지 않습니다.
오염물질을 내부에 가두는 방법
우리는 단순히 끝부분만 밀봉하는 데 그치지 않았습니다. 오염물질이 밖으로 나가지 않도록 하는 데 초점을 맞추었습니다. 만약 필라멘트가 손상되거나 내부 관이 깨지면, 외부 보호 커버가 모든 것을 가두어 줍니다. 그래서 웨이퍼에 작은 유리 조각들이 들어가는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
또한, 이 보호 커버는 고순도 재료로 만들어져 있어서 열이 여전히 통과할 수 있습니다. 그래서 세척 과정의 화학 반응에 영향을 주지 않으면서도 필요한 밀도를 얻을 수 있습니다.
현실적인 타협점들
물론, 완벽한 것은 없습니다. 이러한 보호층을 추가하면 약간의 열 지연이 발생합니다. 따라서 난방에 시간이 조금 더 걸립니다. PID 설정을 조절하여 표면 온도를 적절한 수준으로 유지해야 합니다.
또한, 밀봉 부분을 주기적으로 점검해야 합니다. 500시간마다 한 번씩 점검하는 것이 좋습니다. 밀봉이 손상되면 습기가 들어오게 되고, 다시 열충격의 위험이 생깁니다. 또한, 전선에는 고온에 견딜 수 있는 전선을 사용해야 합니다. 그래야 연결부가 녹는 것을 막을 수 있습니다.