불안정한 화학물질을 다룬다면, 금으로 코팅된 적외선 램프가 필요합니다.
반도체의 화학적 세척 작업을 하는 분들이라면 잘 아시겠지만, 주변에는 가연성 용매와 폭발성 기체들이 가득합니다. 이런 환경에서는 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험한 요소가 됩니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 석영을 사용합니다. 방출 스펙트럼을 조절하고, 모든 부분을 특수한 소재로 감싸서 스파크가 공기에 닿지 않도록 합니다.
왜 금이 중요한가?
우리는 석영 외피에 얇은 금 층을 코팅합니다. 이를 통해 단파장의 전자기파가 웨이퍼 쪽으로 직접 전달됩니다. 이 방법은 두 가지 효과가 있습니다. 첫째, 에너지가 필요한 곳에 집중됩니다. 둘째, 램프의 외부가 더 시원하게 유지됩니다. 에너지가 화학물질이 있는 곳으로 새어나가지 않으므로, 램프가 가연성 기체의 폭발 원인이 되지 않습니다.
밀폐 상태를 유지하는 것이 중요합니다
세척 환경에서는 밀폐가 매우 중요합니다. 우리는 전극 연결 부분을 고온에 견딜 수 있는 수지로 감싸고, 석영과 금속 사이의 접합부도 특수한 소재로 처리합니다. 이렇게 하면 화학물질이 필라멘트를 손상시키거나, 단자에서 전기 방전이 일어나는 것을 방지할 수 있습니다.
만약 이러한 밀폐 구조가 깨진다면, 램프는 사용할 수 없게 됩니다. 우리는 반도체 세척 과정에서 발생하는 부식성 물질들에도 견딜 수 있도록 램프를 설계합니다.
주의해야 할 사항들
이 램프들은 매우 강력한 성능을 가지고 있습니다. 금 층이 에너지를 효과적으로 집중시키기 때문에, 온도 차이가 매우 큽니다. 따라서 PID 컨트롤러를 정확하게 조절해야 합니다. 그렇지 않으면 목표 온도에 도달하기 전에 과열될 수 있습니다.
또한, 유지보수를 할 때는 거친 연마제를 사용하지 마세요. 금 층은 매우 섬세하기 때문에, 거친 연마제를 사용하면 코팅이 손상되어 램프의 효율성이 떨어집니다.
마지막으로, 접지가 제대로 되어 있는지 확인해야 합니다. 폭발 위험이 있는 곳에서는 단 한 번의 접지 오류도 큰 재앙을 초래할 수 있습니다. 사용하는 화학물질에 맞는 등급의 케이스를 사용하는 것이 중요합니다.