리소그래피 라인에서는 포토레지스트를 건조할 때 2°C만큼의 온도 변화가 발생해도 많은 양의 제품이 버려질 수 있습니다. 저희는 적외선 램프를 고정하는 클립을 개선하여 웨이퍼 전체에서 온도가 ±0.1°C 이내로 유지되도록 했습니다. 이 분야에서는 생산성이 바로 이러한 온도 변동에 달려 있기 때문입니다.
중요한 요소들 이 클립은 적외선 램프를 정확한 위치에 고정시켜 주므로, 석영과 램프 간의 정렬 상태와 초점 거리가 일정하게 유지됩니다. 또한 단파 및 중파 영역까지도 커버할 수 있어, 최소한의 오버슈트로 빠른 열 반응을 제공합니다. 클린룸에 적합한 소재와 금속 마감 처리 덕분에 입자 발생이 거의 없어, 클래스 1–100급 환경에서도 사용할 수 있습니다. 그 결과, 안정적인 가열 온도와 더욱 정밀한 CD 제어가 가능해집니다.
웨이퍼 처리에 있어서의 장점 열 관리가 용이해집니다. 이 클립 덕분에 가열 프로파일이 일정하게 유지되어 재작업과 포토레지스트 결함이 줄어듭니다. 24시간 내내 작동해도 램프 배열이 안정적으로 유지되므로, 예기치 않은 가동 중단이나 추가 가열 과정으로 인한 에너지 소모도 줄어듭니다. 더 빠른 공정 최적화가 가능하며, 램프의 위치 변동이나 정렬 오류로 인한 문제도 줄어듭니다.
실제 사용 시 주의사항 설치 시에는 정확한 토크 조절과 램프의 올바른 위치 설정이 중요합니다. 토크 조절이 제대로 되지 않으면 온도 프로파일이 몇 십 도 정도 변할 수 있습니다. 이 클립은 표준 마운팅 레일에 잘 맞지만, 구형 설비의 경우에는 맞춤형 부품이 필요할 수 있습니다. 정기적으로 정렬 상태를 점검하고, 클린룸 규정을 준수하여 입자 발생을 최소화해야 합니다.